半導体処理で動作し、従来の電子信号を使用してトリガーできるマイクロメートルの解像度のアクチュエータを開発するために、数十年にわたって進行中の研究が行われてきました。初歩的な顕微鏡ロボットが開発されましたが、従来のシリコンエレクトロニクスが効率的に使用されていなかったため、すべてのロボットの機能が制限されていました。しかし、コーネル大学の研究者は、従来の電子機器の助けを借りて動作する数百万のサブ100マイクロメートルの歩行ロボットの作成に成功しています。
開発されたロボットは非常に小さい（ゾウリムシのサイズ程度）ため、数百台のロボットが同時に皮下注射針を通過できます。これらのロボットには、ロボットにコマンドを与えるために外部レーザーのターゲットにできる小さな太陽光発電パネルがあります。それらは、処理センターとして機能するシリコン太陽光発電に接続する脚として4つの電気化学アクチュエータを備えています。既存の半導体技術は、ロボットの脳を小さくして解放可能にするために使用されてきました。
各ロボットには、片面にチタンの層がある非常に薄いプラチナストリップがあります。プラチナストリップに正の電荷を加えると、近くの環境からのマイナスイオンが現れ、電荷のバランスを取ります。同じイオンがプラチナを膨張させ、脚を曲げます。金属ストリップ上のポリマーチャンクは、膝や足首をエミュレートする曲げ点の作成を可能にします。
研究者によると、チームはロボットを標準的なマイクロチップ製造と互換性のあるものにすることに取り組んでおり、それによってこれらの顕微鏡ロボットをスマート、高速、大量生産可能にするための扉を開いています。チームはまた、単一の4インチシリコンウェーハを使用して、既存のリソグラフィプロセスを使用して約100万台の新しいロボットを製造できると付け加えました。これらのロボットは、いつの日か人体で使用される可能性のある、これまで以上に複雑な顕微鏡ロボットを構築するための道を開くことに成功しました。さらに、チームはこれらの小さなロボットで電子統合を行うことを計画しています。